顶层metal

keroppi · 发表于 2008-2-28 18:30:07

因為CMP 時如果原來的環境不好也有可能會磨不平所以需要 metal sloting 來改善這個問題

xiaobenyi · 发表于 2008-5-4 21:19:37

原帖由 keroppi 于 2008-2-28 18:30 发表

 登录/注册后可看大图

因為CMP 時如果原來的環境不好也有可能會磨不平所以需要 metal sloting 來改善這個問題

总觉得这个机械打磨太匪夷所思了，不太可能，TSMC的工艺工程师过来讲座的时候也没提到说是机械打磨，
顶层厚是因为机械应力，其实不止顶层厚，M1最薄，M2到M（top-1）厚度相同，比M1厚，Mtop最厚，要说磨平我还相信，磨出线条来那就绝对是不可能的了
平坦化是每层金属都会做的

站长推荐 /2