CMOS集成电路的划片封(seal ring)到底是什么样子的? 接触和过孔都是连续的么?

ee8 · 发表于 2012-11-14 12:04:51

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CMOS集成电路的划片封(seal ring)到底是什么样子的呢?
对于回流平坦化(0.5um及以上工艺),以及CMP的工艺(0.35及以下工艺), 划片封中接触和过孔都是连续的么?
我的理解都应该是连续的长条形接触和过孔，但是在几何设计规则中，是不允许非正方形的非最小尺寸的接触和过孔的。划片封结构是怎么通过几何设计规则检查的呢？

另外，如果划片封中的接触和过孔允许是连续的，那为什么芯片电路中的不允许呢？可能造成金属断线(对于回流平坦化工艺)？可能导致钨金属去除不完全(对于CMP工艺)？可能造成N+扩散区与P阱间的短路？如果确实需要在电路中绘制连续接触和过孔，通过MPW流片，代工厂能接受么？

damonzhao · 发表于 2012-11-14 12:56:04

看design rule

randysong · 发表于 2012-11-15 11:20:28

电路中一般都不允许使用长条接触孔或者过孔的。
但是Sealring上的接触孔和过孔，一般都要求使用一个整条的长方形孔，整个一周形成护城河形式，这个是因为Sealring在切片过程中防止水汽进入芯片内部电路，而护城河形式的孔可以很好的吸收切片过程中所形成的水汽。

lindychen · 发表于 2016-12-13 14:32:40

不同工艺要求不一样吧，有些工艺的sealring 并不是画长条形的，也是正常的方形。

CXLDII · 发表于 2016-12-14 14:42:34

有些工艺有EXCL层次，可以免去DRC检查；
没有这个层次，忽略DRC错误了

roro_mm · 发表于 2016-12-15 09:08:55

有些工艺会既有方形又有条型，同时的。

piao · 发表于 2022-6-1 00:15:17

受教了，谢谢

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