MEMS电容加速度计的电学模型

hope斐 · 发表于 2012-9-11 16:26:31

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我已完成开环模式下MEMS电容加速度计的电学模型，大致如下：
截图00.jpg

现在闭环模式下的电学模型不知道如何建立。目前，对于我现在的这个模型，要想实现闭环的反馈效果，反馈电压只能反馈到加速度的输入端，与加速度求和。现在如果要想实现把反馈电压反馈到上下极板，即top或者bot极板，或者反馈到中央极板，即ctr极板，这个模型貌似是没办法实现，各位高手有做这个的吗？一起交流下吧，或者，也可以提供点建议！

ralphtw · 发表于 2014-11-21 18:14:21

learning !!!

buildgates · 发表于 2015-3-10 21:11:25

我先顶一个！！！！

[讨论] MEMS电容加速度计的电学模型

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