华虹NEC 130um 工艺求教

lixiaojun707 · 发表于 2012-8-17 17:11:41

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新接触华虹NEC 130um工艺，对里面的有些layer不清楚。如下：
tap、 li1、 licon1，不知道这些layer是起什么作用的？希望知道的人给予解答一下。不胜感激！

lixiaojun707 · 发表于 2012-8-17 17:14:03

打错了
应是华虹NEC 130nm工艺

zhuyujun · 发表于 2012-8-20 16:41:01

楼主应该做了很多年了

HeNavy · 发表于 2012-8-24 10:04:09

我经常使用华虹的工艺，但没画过.13的工艺，我想tap应是用于做衬底的吧！

xiaojunwen · 发表于 2012-9-7 16:00:21

工艺文件有一块复制发出来

云飘如水 · 发表于 2012-9-7 16:15:25

一般都有design rule的，你进去看看里面一般都会有定义的。

grouchy · 发表于 2012-9-10 12:37:50

打错了
应是华虹NEC 130nm工艺

pebay888 · 发表于 2013-7-19 23:56:57

连接M1与Aa，poly的一层

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