负责开发HVPE技术的SOITEC副总裁兼美国菲尼克斯实验室总经理Chantal Arena称“我们计划使用验证过的硅外延设备,在加入我们开发的镓气体后,开发出一种高产能的HVPE设备。然后我们成功的研发出了一种具有快速生长特点的工艺,而且成本更低。这种新的工艺使得GaN模板比使用MOVPE的方式更具有成本的优势。
四联光电的COO David Reid说“四联光电很高兴能与SOITEC合作,并采用其HVPE技术通过我们在中国已建立的广泛的蓝宝石衬底市场,我们将会非常适合利用其技术优势,为我们的蓝宝石衬底客户提供高质量并能有效降低成本的模板”。