谁有smic0.18工艺各层次的详细介绍

tfangli1234 · 发表于 2012-7-5 10:27:21

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大家好，我以前都是用点5工艺，现在开始用smic0.18工艺，可是对这个工艺我一点也不熟悉，

希望哪位朋友能给我一份smic0.18工艺各层次的详细介绍。比如 SAB、DNW、PSUB等这些层次

是些什么层？怎么用？谢谢大家了

half_honey · 发表于 2012-7-5 10:33:56

design rule看看

tfangli1234 · 发表于 2012-7-5 11:07:52

主要是我不知道这些层次代表什么啊

843071455 · 发表于 2012-7-5 12:56:07

设计规则上有详细的介绍啊

half_honey · 发表于 2012-7-5 14:24:34

SAB:salicide block0
SAB层用来阻止sailicide的生成，从而得到阻值较高的diffusion或者poly(
常用在poly电阻，diffusion电阻，ESD device的 Drain端，提高其电阻和耐压。

DNW:deep nwell

PSUB:有两个地电位的时候可以使用该层做标记

这些在论坛里搜索都能找到相应的结果

根本上来说还是去看design rule吧