45nm工艺下互连金属的单位面积电容、边缘电容如何得知？

潇湘君 · 发表于 2012-6-15 13:58:24

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最近想用一个简单的模型估计一段还没有实际布线的连线电容值，因为长、宽、金属层都可以确定，就想用一些简单公式粗略估算布线后的线电容，但一些数据还未知，如题，还有45nm工艺下的绝缘层厚度是个神马情况呢？？
看过ict文件、captable文件，但都看不懂，不知道有没有关于这些的说明文件呢？
不知还有没有更佳的方法，希望各位不吝赐教啊，在下先行谢过！！！