关于dummy的问题，保持多晶硅蚀刻速率一致是什么意思？

note30933 · 发表于 2018-1-4 11:11:47

学习学习，明白了

每天甩油的猪 · 发表于 2018-1-4 11:55:36

学习了

账户已登录 · 发表于 2019-6-28 17:54:17

各位大哥大嫂兄弟姐妹，最近小弟陷入一个怪圈无法自拔，无论加不加dummy，M1/M2/M3的栅侧面积都是一样的那么与酸的接触面积也是一样的，酸的浓度也是一样的，那么到底是什么原因造成的蚀刻速率上的差异呢，求指教，先行谢过，感激不尽呐

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