新手求教，请问NP、N+active、Ndiff和active的区别？

hunk4321 · 发表于 2012-3-19 21:43:20

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我是新手，最近在看HHNEC bcd350ge工艺文档，请问NP、N+active、Ndiff和active的区别？这几个概念有点模糊。

motofatfat · 发表于 2012-3-20 11:59:00

NP 又名 NIMP NPLUS
active 又名 diff
N+active 通常是 NDIFF
就是代表 NP 包住 active

terry8876 · 发表于 2012-3-20 21:35:42

先解释active，我觉得这个概念很重要也不大好理解。
active：我个人理解，active算是一个标识层，比如版图上你要一个5*5的N型区，那么一般都是Active为5*5，包在active外的NP或N阱是大于等于5*5的。怎么理解呢？我觉得可能跟工艺误差有关，我们画一个5*5的NP圈，在工艺上可能没得5*5，所以一般用active来表示实际注入出来的面积大小，它只是起一个标识的作用，实际注入大小还是以NP面积为准。只是用active来确保能得到我们想要的足够的注入面积。工艺上基本上都要求注入或阱必须超出有源区边界多少距离的。
NP就是N+ implant ：N型离子注入
N+Active：Active是有源区，N+Acitve是N型有源区（N注入和有源区的交集区）
Ndiff：N型扩散
纯属个人理解，如有不当或错误，欢迎指正。