关于金属连线的工艺方面问题

wawejin · 发表于 2012-3-1 14:30:13

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V1,V2是stack结构（完全对齐），没有M2,在这种情况下，M1,M3能否通过V1,V2连接起来，如果可以，又是什么实现的，从工艺方面又是什么解释的。谢谢！

zhuyujun · 发表于 2012-3-1 15:48:58

我也不知道！期待答案！

kirkwood · 发表于 2012-3-1 22:33:10

这应该不行。工艺的手册上有截面图，看看应该就明白了。

wawejin · 发表于 2012-3-2 11:20:22

经测试M1,M3是连接的，但从实物研磨图片上看，确实只有V1，V2，没有M2，无法解释这种现象。

lixiaojun707 · 发表于 2012-3-11 00:20:18

回复 1# wawejin

似乎不可以吧。
在做了V1之后，就是M2的工艺制作了，在之后才是V2，那如果是这样在V1之间V2的M2的制作如何（光刻、溅射、氧化。。。）。如果没有M2难道V2可以穿过氧化隔离层，连接到V1上！如果可以，似乎只有这样的解释了。

wolffshen · 发表于 2012-3-19 00:38:47

一般V2在Etch的时候都有较多的overetch的，你这种情况其实是违反Design Rule的，不过实际因为V2已经Etch到了下面，所以是可以和V1接一起的

cts · 发表于 2012-4-3 11:23:17

一般此狀況是違反DESIGN RULE,
但是如果是 metal plug製程是有可能連再一起
但是要確定是否ohmic contact 及均勻性否則會有大災難

wolffshen · 发表于 2012-4-3 23:11:34

而且这样的工艺，如果Metal Enclosure Via不够的话，还会造成上下两层metal间的短路

dawang_han · 发表于 2012-4-4 12:19:25

期待答案哦，谢谢

wufuwei · 发表于 2012-4-4 12:38:55

这个不行的吧

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