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spirittjh · 发表于 2011-12-22 20:06:37

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高科技吖，希望多交流

icfbicfb · 发表于 2011-12-27 23:55:06

全称是： micro electronic mechanical system，微机械系统，算微电子的一个分支

KeepEasy · 发表于 2012-6-27 15:11:37

这个要关注，我关心在哪里流片

公害 · 发表于 2012-11-12 11:15:45

人气啊

kofkoy2000 · 发表于 2013-9-17 19:52:38

冷啊，跟我一贯讲的冷笑话一般。大家一起讲，就不冷了。加油。

east0609 · 发表于 2017-8-30 20:54:54

静静的看一下

tezhi · 发表于 2017-9-11 20:37:53

推一下~~~~~~~~

lynceetec · 发表于 2017-9-29 13:18:03

本帖最后由 lynceetec 于 2017-9-29 13:19 编辑

MEMS表征的新方法，数字全息显微镜DHM可以对MEMS器件面内和离面运动同步实时跟踪，
对于离面（Out-of-plane）运动的测量达到了MEMS激光测振仪（也被称为MEMS分析仪）的精度，而对于面内（In-plane）运动的测量精度则远远超过目前市场上其他MEMS分析仪的测量精度，达到了1纳米。
样片依次是MEMS悬臂梁，MEMS麦克风，超声传感器

MEMS悬臂梁

MEMS麦克风

惯性传感器

[原创] Mems

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