关于金属层之间介质的介电常数问题？！

joemool · 发表于 2011-12-9 22:30:06

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最近在对一种特殊的电路进行物理建模，需要提取版图中的电感和电容参数信息。

假设，我的电路仅仅为两根较宽的金属线，采用tsmc 65nm的metal 10来设计。

宽度10um，间距40um，厚度1.45um，距离FOX层6.93um。

问，制造完成之后，这根金属线底面和FOX层的耦合电容该如何计算？

我的思路是，采用平行板电容计算方式。已知，极板间的距离和面积，但是对于介质的介电常数还是没有把握。

从foundry提供的RC技术文件里发现，每个层之间都存在着诸如PASS*，IMAD*之类的绝缘层，那么，metal 10和 FOX之间的介电常数该如何计算？

再者，我不考虑导体侧面和FOX之间的耦合电容，但我考虑两根金属线侧壁的耦合电容时，这个介电常数该如何确定？？

nxtgrd文件中，绝缘层描述的“ER”所代表的是绝对介电常数？还是相对于真空，或者空气的介电常数？？？

求解答！！！

icfbicfb · 发表于 2011-12-10 19:01:07

看哪个hspice 文件里面的RC文件，或者nxtgrd，tluplus，

每层到fox的RC参数都有的，

侧壁的话就是一般的oxide吧，

joemool · 发表于 2011-12-12 13:57:44

回复 2# icfbicfb

nxtgrd里写的都是每个导体或者绝缘层的模型
我就利用这里的信息，抽出一些我要的东西，算了一下

平均相对真空的介电常数大致为4

如果平行班电容的底板（OD层）相对于上方的金属平面无限大，那么可以忽略侧壁对底面的耦合

所以可以简单的建模为C=A*ER/d

其中A为金属平面的面积
ER为相对介电常数
d为金属平面的高度

iamshan · 发表于 2011-12-12 21:08:26

一般的计算取值为3.9

joemool · 发表于 2011-12-13 00:56:20

回复 4# iamshan

根据工艺的不同，这经验值还不是很准的吧

iamshan · 发表于 2011-12-13 21:18:43

回复 iamshan

根据工艺的不同，这经验值还不是很准的吧
joemool 发表于 2011-12-13 00:56

登录/注册后可看大图

准不准不清楚了，WAT测试的时候用的都是3.9

caohua1986517 · 发表于 2014-5-30 15:30:46

顶一个

oitop · 发表于 2014-7-10 12:11:00

这些都是Foundry的秘密，不会明明白白写到rule里面的

tilin · 发表于 2014-9-5 14:30:03

求助
FOX层指的是什么呀？

icfbicfb · 发表于 2014-9-5 17:10:18

field oxide，

[求助] 关于金属层之间介质的介电常数问题？！

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