关于metal fuse的问题，有谁用过熔丝？

ralphtw · 发表于 2014-10-15 18:30:17

Trimming

aquanwang · 发表于 2014-10-15 21:50:33

fuse电阻的作用是为了对内部的电阻进行调节，就是你所画的这个模型，但不全，它上面还有一层开窗（PAD层）有些工艺还需要在下面加个阱，“烧掉”并不是通过大电流烧掉它，而是开窗之后直接腐蚀掉。另外，这个尺寸大小取决于工艺的精度，并不是说要多少尺寸就多少尺寸的

leshi · 发表于 2014-10-16 10:26:22

要是距离不够，可以采用蛇形线走，增加线长

zoujunlin · 发表于 2014-10-16 13:27:31

金属线的fuse在熔断的时候，会产生大量热量以及可能伴随部分材质汽化，所以首先，fuse区域需要与功能电路保持一定安全距离，其次在fuse上要对钝化层开窗；每个foundry对fuse熔断方式的设计是不一样的，建议严格按照DesignRule上来，可以的话最好咨询foundry的技术支持

dinggo · 发表于 2014-10-18 23:03:32

回复 14# zoujunlin

还是有比较general做法的

dinggo · 发表于 2014-10-18 23:04:26

回复 14# zoujunlin

对工艺的要求并不是太严格

dinggo · 发表于 2014-10-18 23:05:40

楼主的希望可能得落空了，这样实现起来面积得有心理准备

yu1004 · 发表于 2015-1-15 11:09:02

看看，学习学习！！！

tStone · 发表于 2020-9-9 08:46:26

aquanwang 发表于 2014-10-15 21:50
fuse电阻的作用是为了对内部的电阻进行调节，就是你所画的这个模型，但不全，它上面还有一层开窗（PAD层） ...

不能理解这个说法，如果是腐蚀的话，PV应该是最上一层了吧，PV做完整个工序也应该完成的差不多了，接下来还要再加额外的工序腐蚀吗？

jessefrank · 发表于 2021-8-11 10:16:42

tStone 发表于 2020-9-9 08:46
不能理解这个说法，如果是腐蚀的话，PV应该是最上一层了吧，PV做完整个工序也应该完成的差不多了，接下来 ...

应该是Probe探针加电压，一般在1-5v之间，用一个充好电的电容对fuse放电，使fuse熔断并且汽化，从PAD OPENING 开窗逃逸，从而形成断路。

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