两种金属dummy，哪种比较好

zds5455 · 发表于 2013-8-1 18:54:29

我只见过左边的，没见过右边的

ghxy · 发表于 2017-6-15 09:44:59

我觉得加dummy的目的就在于防止应力过于集中，造成研磨的时候发生工艺上的一些偏差，所以就上面这两个图来说，好坏与否就看它加上之后，造成的不必要的研磨的多少来界定，因为加的时候以window的方式来加，所以加多少也跟dummy颗粒尺寸有关，跟原来的 rounting之后本身的mental density也有关系，脱离这些条件，来讲好坏没有什么意义。

wink1988 · 发表于 2017-6-15 15:56:55

不明觉厉~~！涨姿势了~！

xworld2008 · 发表于 2017-8-28 22:11:45

和腐蚀有关，或者和掩膜有关，
是不是光照时，光的衍射会小。

papertiger · 发表于 2022-5-7 16:32:51

这个讨论可惜没有权威结论啊。右边calibre 产生倒不是难点。

囧囧囧whisky · 发表于 2023-5-9 08:41:31

看到国外某司模拟芯片逆向照片dummy是右边这种，但是不是斜45°，大概只斜20°

菜鸟一号 · 发表于 2023-5-10 09:49:53

有没有人总结一下啊

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