mimcap_mis电容的结构是怎么样的？

superleaf · 发表于 2011-8-15 15:17:57

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想问下mimcap_mis电容的结构是怎么样的？有哪些金属构成的？

artofsleep · 发表于 2011-8-15 15:30:15

一般是最上面两层

noman_dgf · 发表于 2011-8-17 09:54:11

mimcap_mis和mimcap是一个东东，只是一个有mismatch的参数，一个没有，最上层两层金属中间多家一层mask做的特殊电介质

大飞 · 发表于 2011-8-17 15:06:33

_mis 是有mismatch模型。
mimcap：对n metal工艺，在top metal和n-1 metal之间加一层作为mim的上极板，n-1作为下极板

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