修antenna的时候不能往下跳层，从工艺上怎么解释？

往事如风 · 发表于 2011-7-1 15:27:29

本帖最后由往事如风于 2011-7-1 15:28 编辑

往下跳或往上跳是相对的，看你在哪个位置跳线。假如在gate附近真的没地方，没办法往上跳线，那就在靠diffusiong附近往下跳。也就是相对来说，靠gate附近的layer相对diffusion附近还是高层金属！！！！！更有利于在刻蚀，金属上过多的在没到达gate时，已经向diffusion放电了！

ksg12 · 发表于 2011-7-10 00:08:14

理解了就行了,如果attenne比较严重的话,上跳层以后,可能attenne转移到上层金属了,那么你就得再跳下来,

f2oo0 · 发表于 2012-10-5 11:41:59

回复 4# mnluan

这样做是否没有从根本上解决问题？而是把第3层金属的antenna effect转移到了第4、5层上？

liuada001 · 发表于 2012-10-5 16:23:00

理论上讲向下跳也是可以修复antenna的，如果M3长度是1000，超过600会有antenna的影响，那么我们可以跳到M2走400，因为工艺上每做完一层都会有放电处理，所以真正影响的M3不超过600。但是手动跳线很难有足够的空间给你走如此长的线，所以向下跳线理论可行但是很难。
而向上跳线还有一个原因，就是顶层金属一定会连到diffusion，这样顶层金属一定不会有antenna的问题。

wscaj · 发表于 2016-3-15 15:51:26

thanks for share!

sunnyliu2008 · 发表于 2016-7-27 15:21:10

回复 9# zmn

可以向下跳。但是这个要求比较高，必须同时满足当前metal层总面积不能超过antenna的要求。如果往上跳，只要保证连续的这段metal不超过antenna的要求就可以了

[求助] 修antenna的时候不能往下跳层，从工艺上怎么解释？

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