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[求助] 请问用sentaurus tcad 是process 再sige里怎么掺杂啊,我死活掺杂不进去

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发表于 2011-5-29 11:08:21 | 显示全部楼层 |阅读模式

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有用过的高手吗,我用implant命令结果跑完process还是没有掺杂进去,把材料换成硅的就可以,用MC模型跑的,有用过的高手吗,跪求帮助啊,毕业不了了,哭~
发表于 2011-5-30 11:28:44 | 显示全部楼层
又是你们几个再提问
发表于 2011-6-5 18:51:03 | 显示全部楼层
别急,仔细想想,会有办法的
发表于 2011-6-14 20:12:14 | 显示全部楼层
现在弄出来了吗
发表于 2011-10-24 23:39:33 | 显示全部楼层
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