请教scale工艺应该怎么做？也就是SMIC130nm如何转向110nm

kplwqx · 发表于 2011-5-6 16:57:58

VFJKDGHKJ

hiky · 发表于 2012-3-27 17:12:18

6#正解

纯白雾隐 · 发表于 2012-12-29 15:06:55

回复 6# conniezhou

这个放大有个问题就是孔不能放大，制造工艺是11的，孔放大再缩小0.9就还是13的孔大小，用11的drc规则过不去，怎么解决？

冰点火龙 · 发表于 2014-12-11 23:31:55

回复 13# 纯白雾隐

遇到相同问题，应该怎么操作？

冰点火龙 · 发表于 2014-12-12 23:25:53

回复 9# bestyanjun

放大后，边贴边的线会断开，这种情况怎么解决的？
Contact、Via会变大，DRC 过不了，怎么解决的？
谢谢！

emerald1103 · 发表于 2014-12-18 12:04:25

我们走过smic65和smic55的流程。所用的design rule是一样的，模拟设计仿真中需要设置scale为0.9。对于数字设计来说，foundry会给不同的library，65 55分开给。所以数字部分我们会用不同的library来做，但是模拟部分我们做好65的layout，55的会直接用，drc一般都没有问题。在foundry tapeout时候，我们会在55里注明shrink到90%。也就是layout在做的时候是shrink之前的，shrink的工作foundry会做。给你的die的尺寸是你layout长宽的尺寸的90%。

qdsoftware · 发表于 2016-4-11 13:00:58

回复 8# conniezhou

求calibre 脚本

qdsoftware · 发表于 2016-4-11 13:10:51

回复 6# conniezhou

已经画完了的版图怎样size up呀？

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