layout中的pattern density问题

flyawayfc · 发表于 2011-1-24 10:34:46

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最近做layout，DRC时一直出现pattern density问题，我用的是calibre 2008，请问如何解决啊？网上说加dummy cell，这是啥东西啊？

flyawayfc · 发表于 2011-1-25 11:24:15

有没有懂layout的大师解答一下啊，谢谢啊

calviny83 · 发表于 2011-2-12 14:39:20

是不是metal 的 density不够?如果是的话,一般这是在做等层的时候才去解决!

calviny83 · 发表于 2011-2-12 14:42:12

网上说加dummy cell,其实只不过在layout 顶层加一些dummy metal 去满足metal density!

fuyibin · 发表于 2011-2-12 21:58:29

最近做layout，DRC时一直出现pattern density问题，我用的是calibre 2008，请问如何解决啊？网上说加dummy ...
flyawayfc 发表于 2011-1-24 10:34

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你是画layout的么？density问题没遇到过么？
这是常见问题，查看design rule，每个foundry的process都会有具体的要求
density 问题通常会影响yield

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[求助] layout中的pattern density问题