在线咨询
eetop公众号 创芯大讲堂 创芯人才网
切换到宽版

EETOP 创芯网论坛 (原名:电子顶级开发网)

手机号码,快捷登录

手机号码,快捷登录

找回密码

  登录   注册  

快捷导航
搜帖子
查看: 10609|回复: 4

[求助] 设备资料中的Loadlock是什么意思?

[复制链接]
发表于 2010-7-7 14:24:13 | 显示全部楼层 |阅读模式

马上注册,结交更多好友,享用更多功能,让你轻松玩转社区。

您需要 登录 才可以下载或查看,没有账号?注册

x
我这几天正在看一个设备资料,关于干法刻蚀机的,其中有一个词loadlock不明白是什么意思,应该是设备的某一部分的名称,应该怎么译
发表于 2010-7-12 16:12:39 | 显示全部楼层
哪位大侠能指点一二,我先顶了
发表于 2010-7-13 10:29:32 | 显示全部楼层
发表于 2010-7-15 10:27:13 | 显示全部楼层
锁定负载?
发表于 2010-8-16 00:43:29 | 显示全部楼层
一般dry etcher机器是在比较高的真空状态中工作,然而在放入需要etch的样品时,如果直接把main chamber打开放入sample, 这样就破坏了main chamber里的真空状态,就要很长时间才能恢复需要的真空。所以loadlock的用处就是先把sample装入loadlock,封闭loadlock,把loadlock抽真空,loadlock很小,所以loadlcok很容易抽真空,然后才把loadlock和main chamber之间的门打开,然后把sample从loadlock推入main chamber做etch.
所以loadlock可以翻译成 封闭样品载入室。
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

关闭

站长推荐 上一条 /2 下一条


小黑屋| 手机版| 关于我们| 联系我们| 在线咨询| 隐私声明| EETOP 创芯网
( 京ICP备:10050787号 京公网安备:11010502037710 )

GMT+8, 2024-12-23 10:05 , Processed in 0.022663 second(s), 8 queries , Gzip On, Redis On.

eetop公众号 创芯大讲堂 创芯人才网
快速回复 返回顶部 返回列表