设备资料中的Loadlock是什么意思？

yxren1234 · 发表于 2010-7-7 14:24:13

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我这几天正在看一个设备资料，关于干法刻蚀机的，其中有一个词loadlock不明白是什么意思，应该是设备的某一部分的名称，应该怎么译

yxren1 · 发表于 2010-7-12 16:12:39

哪位大侠能指点一二，我先顶了

Netlucifer · 发表于 2010-7-13 10:29:32

预真空腔?

参考：　http://www.iciba.com/loadlock/
　　　　http://leegee55.blog.163.com/blog/static/34952854200951481618299/

tim003 · 发表于 2010-7-15 10:27:13

锁定负载？

sunkaitttt · 发表于 2010-8-16 00:43:29

一般dry etcher机器是在比较高的真空状态中工作，然而在放入需要etch的样品时，如果直接把main chamber打开放入sample, 这样就破坏了main chamber里的真空状态，就要很长时间才能恢复需要的真空。所以loadlock的用处就是先把sample装入loadlock，封闭loadlock，把loadlock抽真空，loadlock很小，所以loadlcok很容易抽真空，然后才把loadlock和main chamber之间的门打开，然后把sample从loadlock推入main chamber做etch.
所以loadlock可以翻译成封闭样品载入室。

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