有关2层多晶的问题

rainheart · 发表于 2009-2-26 01:18:40

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看到PAPER里面谈到2P4M的工艺，这两层多晶一般做在哪里，最下面或L2 L3之间，谢谢

pennyxm · 发表于 2009-2-26 09:24:46

2P主要是poly1,poly2,一是做mos，二是做电阻，电容用。

rainheart · 发表于 2009-2-26 13:58:11

我就是想知道POLY是不是都做在衬底和下层金属之间，谢谢

ronialeonheart · 发表于 2009-2-26 16:34:36

是的衬底和第一层金属之间

sxkxml · 发表于 2020-8-19 10:53:22

上华有工艺pmos和nmos分别用不同poly实现

一西 · 发表于 2020-8-26 15:43:19

sxkxml 发表于 2020-8-19 10:53
上华有工艺pmos和nmos分别用不同poly实现

是的，好早之前好像还有用到过一次

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