请前辈指教小弟计算Kn和Kp，迁移率。。

sunyanzi · 发表于 2008-10-30 12:09:21

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小弟要计算Kn和Kp的值，可是不知道如何下手，挺着急的

图片是smic0.18的模型文件的截屏

哪个是迁移率Un/Up

哪个是二氧化硅介电系数Eox

我知道氧化层厚度是tox

还请前辈指教小弟^_^

sinoicboy · 发表于 2008-10-30 13:25:55

  需要 tox  
  
      迁移率在mobility下面找 u0

BJTU？

hustlinjh · 发表于 2008-10-31 10:11:56

同问,我也一直困惑中!!

hydrade · 发表于 2008-11-1 23:18:30

Kn=u0*Cox=u0*(tox/eox)
u0 在BSIM模型里边就是表示迁移率单位 um/V^2
tox氧化层厚度 eox二氧化硅介电常数

martiny3 · 发表于 2008-11-1 23:29:39

原帖由 hydrade 于 2008-11-1 23:18 发表

 登录/注册后可看大图

Kn=u0*Cox=u0*(tox/eox)
u0 在BSIM模型里边就是表示迁移率单位 um/V^2
tox氧化层厚度 eox二氧化硅介电常数

不对。u0不是Kn公式中的迁移率。
建议看看Baker的书。上面有比较详细的说明

smr_000 · 发表于 2009-6-14 00:00:53

提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽

sijutann · 发表于 2009-6-14 01:21:44

看工艺手册

海之子306916 · 发表于 2009-10-7 21:54:14

电常数又叫介质常数，介电系数或电容率，它是表示绝缘能力特性的一个系数，以字母ε表示，单位为法/米(F/m)

　　定义为电位移D和电场强度E之比，ε=D/Ε。电位移D的单位是库/二次方米(C／m^2)。

　　某种电介质的介电常数ε与真空介电常数ε0之比称为该电介质的相对介电常数εr ，εr＝ε／ε0是无量纲的纯数，εr与电极化率χe的关系为εr＝1＋χe。

　　真空介电常数：ε0= 8.854187817×10^-12 F/m
SIO2的相对介电常数为3.9（半导体物理上有）
Cox = esi / tox
注意这里的tox单位是m
结果是0.000892F/m^2

xyn777 · 发表于 2009-10-8 20:08:32

直接仿真求取，不要算

pop_mos · 发表于 2009-10-9 12:35:09

直接仿真求取，不要算
xyn777 发表于 2009-10-8 20:08

登录/注册后可看大图

具体点。。。

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