请问：此时的tox＝？ ，该怎么算，谢谢

semico_ljj

请问？请问：此时的tox＝？ ，该怎么算，谢谢

.model  nmos  nmos  level = 54
+version = 4.0          binunit = 1            paramchk= 1            mobmod  = 0         
+capmod  = 2            igcmod  = 1            igbmod  = 1            geomod  = 1         
+diomod  = 1            rdsmod  = 0            rbodymod= 1            rgatemod= 1         
+permod  = 1            acnqsmod= 0            trnqsmod= 0         
+tnom    = 27           toxe    = 1.4e-009     toxp    = 7e-010       toxm    = 1.4e-009   
+dtox    = 0            epsrox  = 3.9          wint    = 5e-009       lint    = 1.2e-008   
+ll      = 0            wl      = 0            lln     = 1            wln     = 1         
+lw      = 0            ww      = 0            lwn     = 1            wwn     = 1         
+lwl     = 0            wwl     = 0            xpart   = 0            toxref  = 1.4e-009   
…………………………
…………

semico_ljj

？？

zaitian80

http://www-device.eecs.berkeley.edu/%7Ebsim3/BSIM4/BSIM461/doc/BSIM461_Manual.pdf
参考第2~4页
主要是Toxe, the electric gate oxide thickness,
在mrtlMOD=1时, Toxe=EOT
Toxp作参考，the physical gate oxide thickness

Toxm好像仅仅是一个权，在计算K1/K2时用到（Toxe/Toxm）

这三个值好像必须是正数。如果做SS/FF corner可能把三个值同时比例放大缩小就可以了

semico_ljj

谢谢，这样就能估算了！