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楼主: seocean

请教集成电感保护环Layout画法, thx

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 楼主| 发表于 2008-7-16 01:36:40 | 显示全部楼层


原帖由 suneyeslee 于 2008-7-15 23:20 发表
我上传一个我设计的电感吧。工作在17GHz, 八边形结构。
Inductor下面的鱼骨形吗是最基本的M1ground,还有白色网格形(未能显示清楚)是polysilicon的shielding,跟inductor一样是八边形,不过大一圈。



Hi, suneyeslee ,

能否再问下,你的设计是用了M1和poly 两层shield,它们的形状和大小是一样的么?(不好意思,图上没有看明白你说的poly层)

另外,Poly和M1的shield一般怎样接地? 我看到有地方说是shield引出到外部接地。看到你的右图有一条垂直的M1的连线,是把所有M1shield都short在一起么?

请多指教啊,bow 了先
发表于 2008-7-16 09:48:27 | 显示全部楼层

回楼上的话,

因为sheilding的金属或者poly的电流如果和你inductor的电流垂直,那么感生电流就是最小,这样耦合效应自然也就最小了,我觉得4边形,你那样就好了,不过楼上那位的8变形如果画成扇形就更好了,个人意见,欢迎讨论,
发表于 2008-7-16 15:01:15 | 显示全部楼层
提供nordic的一种用顶层金属M4和M3来做集成电感的照片,没有任何Shield和guard
供参考

集成电感照片

集成电感照片
发表于 2008-7-16 17:40:35 | 显示全部楼层


原帖由 ipmsn5 于 2008-7-16 09:48 发表
因为sheilding的金属或者poly的电流如果和你inductor的电流垂直,那么感生电流就是最小,这样耦合效应自然也就最小了,我觉得4边形,你那样就好了,不过楼上那位的8变形如果画成扇形就更好了,个人意见,欢迎讨论, ...




我选用八边形是为了maximize电感的Q值,在BiCMOS工艺下,八边形仿的是25,四边形差不多22。不过四边形的设计相对简单些,很多地方都采用这种topology。不知ipmsn5所说的扇形电感又何优越性啊?
poly的shielding层我做成floating的,没有跟substrate连,这样虽然有stability risk,但是也把与基底的寄生电阻降到最低。但是事实上,我发现去掉了sheilding层,Q的变化微乎其微啊 ,不知ip有没有这方面的经验?
发表于 2008-7-16 17:44:53 | 显示全部楼层


原帖由 seocean 于 2008-7-16 01:36 发表


Hi, suneyeslee ,

能否再问下,你的设计是用了M1和poly 两层shield,它们的形状和大小是一样的么?(不好意思,图上没有看明白你说的poly层)

另外,Poly和M1的shield一般怎样接地? 我看到有地方说是s ...




我的M1是整个chip的ground,所有passive components下面都铺的有。
poly才是shielding层,但是没显示出来。

这些你用momentum都能仿,但是要注意via和pins,会影响精准度,而且超慢的。

[ 本帖最后由 suneyeslee 于 2008-7-16 17:46 编辑 ]
发表于 2008-7-21 09:09:29 | 显示全部楼层

我也贴个图吧

我也贴个图吧
inductor.png
发表于 2009-11-12 17:37:36 | 显示全部楼层
学习,非常感谢,请问版图是一条线一条线划得吗?还是直接调用?(我没找到能直接调用的)还是通过软件仿真生成然后再导入的,例如在导入的cadence?很想知道
发表于 2012-7-23 11:49:51 | 显示全部楼层
流过片,发现添加屏蔽层,跟不添加没有什么影响。。。这种差别基本掩盖在测试误差里。
发表于 2012-7-24 13:48:25 | 显示全部楼层
soc的时候屏蔽才有意义,简单的test-chip当然没用了。。。



流过片,发现添加屏蔽层,跟不添加没有什么影响。。。这种差别基本掩盖在测试误差里。
tianruo 发表于 2012-7-23 11:49

发表于 2012-7-24 16:03:55 | 显示全部楼层
学习,非常感谢
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