MEMS 电容式环形谐振器

亚索学不懂MEMS · 发表于 2023-9-26 20:50:59

大佬们，我做这个环形的电容谐振器，在研究特征频率的时候能画出振型，求出Q值。但是频域研究的时候完全没有振型，有可能是什么原因呢？用COMSOL做的仿真，主题用单晶硅，但好像不导电，

登录/注册后可看大图

加在锚点的电压也传到不到圆环上，COMSOL有什么导电的硅材料吗，我用n掺杂的好像也不行。

亚索学不懂MEMS · 发表于 2023-9-26 21:23:23

是频域使用哪里不对，还是缺少什么内容吗

Huan2016 · 发表于 2024-6-14 15:59:31

求comsol入门学习声学静电场仿真

[求助] MEMS 电容式环形谐振器