在线咨询
eetop公众号 创芯大讲堂 创芯人才网
切换到宽版

EETOP 创芯网论坛 (原名:电子顶级开发网)

手机号码,快捷登录

手机号码,快捷登录

找回密码

  登录   注册  

快捷导航
搜帖子
查看: 1443|回复: 2

[求助] MEMS 电容式环形谐振器

[复制链接]
发表于 2023-9-26 20:50:59 | 显示全部楼层 |阅读模式
100资产
大佬们,我做这个环形的电容谐振器,在研究特征频率的时候能画出振型,求出Q值。但是频域研究的时候完全没有振型,有可能是什么原因呢?用COMSOL做的仿真,主题用单晶硅,但好像不导电,

                               
登录/注册后可看大图
加在锚点的电压也传到不到圆环上,COMSOL有什么导电的硅材料吗,我用n掺杂的好像也不行。

微信图片_20230926203614.png
Untitled.png
六环谐振器振型.gif

低抖动和温度稳定的MEMS振荡器.pdf

2.01 MB, 下载次数: 21 , 下载积分: 资产 -2 信元, 下载支出 2 信元

 楼主| 发表于 2023-9-26 21:23:23 | 显示全部楼层
是频域使用哪里不对,还是缺少什么内容吗
12121221.png
发表于 2024-6-14 15:59:31 | 显示全部楼层
求comsol入门学习声学静电场仿真
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

关闭

站长推荐 上一条 /2 下一条


小黑屋| 手机版| 关于我们| 联系我们| 在线咨询| 隐私声明| EETOP 创芯网
( 京ICP备:10050787号 京公网安备:11010502037710 )

GMT+8, 2024-12-25 00:50 , Processed in 0.035909 second(s), 7 queries , Gzip On, Redis On.

eetop公众号 创芯大讲堂 创芯人才网
快速回复 返回顶部 返回列表