什么是Butting结构？

yfanny1980 · 发表于 2022-9-13 09:06:38

AKA西界发表于 2022-9-1 15:04
好的谢谢！在哪查看是否有butting工艺。

Design Rule和Command file

AKA西界 · 发表于 2022-9-14 13:56:45

yfanny1980 发表于 2022-9-13 09:06
Design Rule和Command file

感谢

piao · 发表于 2022-10-2 23:29:51

学习了，谢谢！

yzhduan · 发表于 2024-7-5 16:49:03

butting

zwy越 · 发表于 2025-6-25 15:02:41

butting结构指的是NMOS中S的N+与衬底B的P+直接相邻。工艺中通常会有sab层，会在有源区上形成一层熔融金属物将两者连在一起。butting结构没有fox，可以节省面积，但是BS默认短路，通常用于周围有p型区或负压大电流，防latchup。

zwy越 · 发表于 2025-7-11 11:33:43

zwy越发表于 2025-6-25 15:02
butting结构指的是NMOS中S的N+与衬底B的P+直接相邻。工艺中通常会有sab层，会在有源区上形成一层熔融金属物 ...

butting

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