有一个关于mim电容的小问题

小哈哈魔头 · 发表于 2022-6-30 11:11:18

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请问mim电容的下级板（M3）可以直接当金属走线用吗，就是信号过来用m3连接该电容再从该电容另一端连出去；这和信号用m3直接连接到该电容的另一端一样吗？

周末不上班 · 发表于 2022-7-4 10:36:51

一样的，只要别连在上极板就行

小哈哈魔头 · 发表于 2022-7-4 22:25:37

周末不上班发表于 2022-7-4 10:36
一样的，只要别连在上极板就行

上下极板差别很大吗

周末不上班 · 发表于 2022-7-5 09:11:21

小哈哈魔头发表于 2022-7-4 22:25
上下极板差别很大吗

不是一根线啊

rain_0 · 发表于 2022-7-5 09:29:52

一般来说，不推荐这种接法。

我大概知道这种接法的情况，一般是多个mimcap并联的情况，下极板都是同电位，第一个用上层metal（比如m4）接过来，后面都直接用m3连起来，这样比较方便连线。但是这样会造成m3的面积过大，有产生antenna的风险。

有些工艺会避免这种情况，在DRC的时候会检查每一个电容的下极板都必须跳线到上层metal，如果没有类似检查，在面积很大的mimcap并联的情况下最好也避免这种接法。

立杨 · 发表于 2022-7-5 11:17:44

最好不要

825555056 · 发表于 2022-7-5 11:34:46

一两个没事下极板面积太大了一般有drc 会告诉你的

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