SMIC MIM电容

Joychip20211202 · 发表于 2021-12-10 12:04:43

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小弟刚接触版图，针对SMIC.18 MIM电容有些疑问，这个是学习时看到的MIM电容版图，还请各位大神给与小弟指点：
1、请问如下截图中应该是缺少了MIM和MIMDMY层？
2、清问此MIM电容是由M5-V4-MIM和M4构成的（此时M3作用是什么呢？）？还是由M5-V4-M4-V3-MIM和M3构成的呢？
3、请问为什么V4/V3孔的面积是一样大的呢？这样画岂不是会出现短路问题么？
4、ERC时，软件是怎么识别MIM层是在M5和M4，还是在M4和M3之间的呢？

pph_cq · 发表于 2021-12-10 14:19:23

design rule上会有MIM CAP的结构

YuSHL · 发表于 2021-12-10 15:31:44

https://bbs.eetop.cn/thread-458040-1-1.html

Joychip20211202 · 发表于 2021-12-22 16:13:46

实物拆解如附件照片，个人觉得这个MIM电容M5-M4-M3有短路问题，没起到电容作用，请问大家的意见怎样？

[求助] SMIC MIM电容

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