mim电容的版图哪里才是电容的有效面积

hyh730 · 发表于 2021-6-25 09:54:06

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因为需要用到小电容，但SMIC0.18工艺下最下电容也有15.536fF，所以需要在版图上画一个电容，但是就像下图的mim，哪块的区域可以用来算电容的大小呢

不许来我家干饭 · 发表于 2021-6-25 11:37:42

MIM层面积吧

Mia20181008 · 发表于 2021-7-6 15:00:06

一开始以为褐色那层是负极板，但是又没有连在一起，黄色部分连在一起，但是contect又在褐色部分，想知道这个mim用了多少层啊？我们是三层组成的。我对电容理解也不深，坐等大神吧

zp306441340 · 发表于 2021-7-12 15:40:45

感觉是粉色圈起来那块是有效面积,之前为了节省版图面积把上方褐色的Metal删掉了电容大小没有改变.

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