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[求助] mim电容的版图哪里才是电容的有效面积

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发表于 2021-6-25 09:54:06 | 显示全部楼层 |阅读模式

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因为需要用到小电容,但SMIC0.18工艺下最下电容也有15.536fF,所以需要在版图上画一个电容,但是就像下图的mim,哪块的区域可以用来算电容的大小呢

QQ浏览器截图20210625094851.png
发表于 2021-6-25 11:37:42 | 显示全部楼层
MIM层面积吧
发表于 2021-7-6 15:00:06 | 显示全部楼层
一开始以为褐色那层是负极板,但是又没有连在一起,黄色部分连在一起,但是contect又在褐色部分,想知道这个mim用了多少层啊?我们是三层组成的。我对电容理解也不深,坐等大神吧
发表于 2021-7-12 15:40:45 | 显示全部楼层
感觉是粉色圈起来那块是有效面积,之前为了节省版图面积把上方褐色的Metal删掉了电容大小没有改变.
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