寻找FAB厂，用SiN和SiC做绝缘层的

yonghengdeyy · 发表于 2019-9-26 14:56:36

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需求：
1）用SiN和SiC做绝缘层，而不是Si。先PECVD气相沉积SiN，再SiC。

2）有sputter溅射镀膜机，但是靶材需要换成TaAl & Ta 【铝钽合金】，而不是原来的铝或者铜。

lijie5992373 · 发表于 2019-9-27 09:09:43

6/8/12 inch?绝缘层是用到哪个步骤的？
写清楚人家才能对号入座

[原创] 寻找FAB厂，用SiN和SiC做绝缘层的