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[原创] 寻找FAB厂,用SiN和SiC做绝缘层的

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发表于 2019-9-26 14:56:36 | 显示全部楼层 |阅读模式

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需求:
1)  用SiN和SiC做绝缘层,而不是Si。先PECVD气相沉积SiN,再SiC。

2)  有sputter溅射镀膜机,但是靶材需要换成TaAl & Ta 【铝钽合金】,而不是原来的铝或者铜

发表于 2019-9-27 09:09:43 | 显示全部楼层
6/8/12 inch?绝缘层是用到哪个步骤的?
写清楚人家才能对号入座
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