Epi-Layer是Bulk CMOS工艺的option吗

abonic · 发表于 2014-5-7 13:53:03

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

我们目前商用的Bulk CMOS工艺一般没有Epi-layer，但是如果想要这个Layer, Foundry能够提供吗，哪些工艺带有这个Option呢，Tapeout的费用会增大很多吗
不知道大家了不了解

mbok · 发表于 2014-5-9 15:53:27

台积电有工艺带EPI，10um左右，外延片

waveguides · 发表于 2014-5-13 06:40:08

你从哪里听说没有的？

micm_nedi · 发表于 2014-5-14 12:32:10

回复 1# abonic
Epi会贵很多，8寸的话不建议使用。
12寸用epi的多。

abonic · 发表于 2014-9-2 11:07:03

回复 2# mbok
有没有20um以上的，可以申请MPW吗

abonic · 发表于 2014-9-2 11:08:25

回复 4# micm_nedi
有哪些Foundry，Epi-layer的厚度为多少

icfbicfb · 发表于 2014-9-2 12:56:55

问fab， epi wafer在65nm及其以下的是标准配置吧，

ralphtw · 发表于 2014-10-15 16:17:56

yes !!!

[求助] Epi-Layer是Bulk CMOS工艺的option吗