求教电容工艺偏差

xlstoner · 发表于 2013-9-12 09:34:57

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一般工艺厂给出的电容偏差为+-20%，请问同一lot和同一片wafer上同种类型电容的最大偏差会是多少呢？

dzlyl · 发表于 2013-9-23 08:21:06

还是要按20%算。但具体的要看PCM参数确定。

xlstoner · 发表于 2013-9-24 15:04:16

按20%算比较极限，foundry给的PCM参数在同一wafer上的值是差不多的，应该不会还是20%吧。

lymrlym · 发表于 2013-10-12 08:24:51

按照20%计算，同一个WAFER的偏差小于这个值，一般10%以内都能做到。

lvyuqiang · 发表于 2013-11-26 14:59:54

按照15%算足够了， Fab总是会留很大的Margin给自己的。

caosl · 发表于 2013-11-27 11:08:02

如果说我第一次做出来的金属厚度就是刚刚好的，第二次我想要得到这个刚刚好的厚度，fab能够掌控么？

xinmeng6393 · 发表于 2013-12-2 10:34:10

3Q,tongwen

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