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[求助] 关于FAB厂的LOTA规则是怎么都的呢？

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发表于 2024-7-25 09:01:54 | 显示全部楼层
这里的C和D分别代表clear和dark，做MASK时候用的，简单说就是最终litho后，C会被光照射，D是被挡住，不被照射，结合光刻胶正负，就可知道最终litho后的形状了。LOTA规则是将层进行各种逻辑操作，得到最终MASK，你图里面这个比较麻烦，一两句解释不清楚
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