关于m0层次的理解

hyacinthTS · 发表于 2025-4-9 15:55:29

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m0是怎样的一个层次呢，via0是连接m0和m1之间的通孔，那mo是怎么连接到poly和od的呢

hyacinthTS · 发表于 2025-4-9 16:52:26

Cheney聪发表于 2025-4-9 16:08
不是通cont吗

小工艺，有个m0过渡层，没有ct孔

hyacinthTS · 发表于 2025-4-9 16:55:48

luwang 发表于 2025-4-9 16:35
应该是ｆｉｎｆｅｔ工艺吧，M0连接GT和AA的cont是不一样的厚度的，M0应该属于3D到平面的一个过度层 ...

就是难以理解这个层次的存在，结构想象不到，可以理解为poly和od向上的延伸层吗，或者说同种材料或者类似材料，

hyacinthTS · 发表于 2025-4-11 10:54:43

luwang 发表于 2025-4-9 17:11
你可以看下，三星的我忘记了，ｔｓｃｍ和ｓｍｉｃ大概是这样
tsmc叫AA MD VD M0 （MD 用来平坦化的，把AA ...

drc文档里只看到些简图，这些层次也看到，MD VD它们不是实际的层次吗。那m0应该不是金属吧

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