关于m0层次的理解

hyacinthTS · 发表于 2025-4-9 15:55:29

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m0是怎样的一个层次呢，via0是连接m0和m1之间的通孔，那mo是怎么连接到poly和od的呢

Cheney聪 · 发表于 2025-4-9 16:08:39

不是通cont吗

luwang · 发表于 2025-4-9 16:35:41

应该是ｆｉｎｆｅｔ工艺吧，M0连接GT和AA的cont是不一样的厚度的，M0应该属于3D到平面的一个过度层

hyacinthTS · 发表于 2025-4-9 16:52:26

Cheney聪发表于 2025-4-9 16:08
不是通cont吗

小工艺，有个m0过渡层，没有ct孔

hyacinthTS · 发表于 2025-4-9 16:55:48

luwang 发表于 2025-4-9 16:35
应该是ｆｉｎｆｅｔ工艺吧，M0连接GT和AA的cont是不一样的厚度的，M0应该属于3D到平面的一个过度层 ...

就是难以理解这个层次的存在，结构想象不到，可以理解为poly和od向上的延伸层吗，或者说同种材料或者类似材料，

luwang · 发表于 2025-4-9 17:11:46

hyacinthTS 发表于 2025-4-9 16:55
就是难以理解这个层次的存在，结构想象不到，可以理解为poly和od向上的延伸层吗，或者说同种材料或者类似 ...

你可以看下，三星的我忘记了，ｔｓｃｍ和ｓｍｉｃ大概是这样
tsmc叫AA MD VD M0 （MD 用来平坦化的，把AA 的高度和GT一致，然后通过VD接到M） GT VG M0 （GT通过VG接到M０）
smic的AA V0 M0 , GT VG M0 （V０　和VG用来平坦化，是AA和GT一个高度，V０是比VG厚的，因为GT比SD高）

luwang · 发表于 2025-4-9 17:18:49

ｄｒｃ文档里有层次结构的图，看下应该就理解的，我刚刚在下面给你举例了ｔｓｍｃ和ｓｍｉｃ的ｍ０，还在审核

long1 · 发表于 2025-4-9 23:22:44

CXMT？

이지은 · 发表于 2025-4-10 10:56:03

M0低阻层

hyacinthTS · 发表于 2025-4-11 10:54:43

luwang 发表于 2025-4-9 17:11
你可以看下，三星的我忘记了，ｔｓｃｍ和ｓｍｉｃ大概是这样
tsmc叫AA MD VD M0 （MD 用来平坦化的，把AA ...

drc文档里只看到些简图，这些层次也看到，MD VD它们不是实际的层次吗。那m0应该不是金属吧

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