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[求助] 生产过程中的术语CD

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发表于 2016-9-14 16:50:56 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请教大家一个问题:
我在foundry的文档中看到一个术语“CD”,全部上下文只有一句“wafer fab CD”。推测应该是制造过程中的一道工序或者是指标什么的,不知具体如何解释。
期待大牛出现。
FAB
 楼主| 发表于 2016-9-14 16:58:36 | 显示全部楼层
查了查,隐约感觉跟dota的CD是一个词儿啊,,,,赶紧来纠正我。。
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 楼主| 发表于 2016-9-19 08:49:51 | 显示全部楼层
每天例行顶贴,没人能解惑么
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发表于 2016-9-19 09:16:10 | 显示全部楼层
current density,不过应该不是……
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 楼主| 发表于 2016-9-19 14:13:29 | 显示全部楼层
回复 4# 中华神起

必须不是
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发表于 2016-9-25 12:17:32 | 显示全部楼层
CD :测量
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 楼主| 发表于 2016-9-26 09:25:07 | 显示全部楼层
回复 6# x_logen

能不能详细说说
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发表于 2016-9-26 11:28:57 | 显示全部楼层
回复 7# yueluofenghen


   
M1_PH  ADI CD
金属1 ADI测量
这个就是 metal 1 ADI CD 检测,比如metal 1 line:1.0±0.1um 那么这步就是需要量到实际生产的metal 1 line 是否符合要求。不知道我们是否说的是同一个CD的概念。
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发表于 2016-9-27 16:05:50 | 显示全部楼层
Layout这边指Critical dimension,即:特征尺寸。
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发表于 2016-11-4 20:10:53 | 显示全部楼层
critical dimension 特征尺寸,衡量工艺的关键参数
current density 一般不会说缩写,缩写的话用EM
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