天线效应

模拟版图小白 · 发表于 2017-10-28 23:27:35

另外，按照楼上的解释，向下跳线岂不是一点作用都没有咯？并且还额外的引入了via的寄生电阻。是吗？

lc137615061 · 发表于 2017-11-6 14:53:13

有一种工艺里面检查天线效应的机制是Metal（M1 ，M2，M3...）与所连到的mos的gate的面积之比不能大于一个值，如果大于这个值，工具就会报错。

caoshujia · 发表于 2018-12-20 09:48:28

哪位大佬解释一下在哪一步有放电的过程？

yanpflove · 发表于 2018-12-20 11:03:14

本帖最后由 yanpflove 于 2018-12-20 11:13 编辑

回复 13# caoshujia

《模拟电路版图的艺术》 P120~P121
在此只贴出原因和影响分析，防护措施请自查。
（1）刻蚀过程，多晶或金属线（侧壁）吸附电荷，电荷流向栅或扩散区，用周长天线比评估；
（2）去胶过程，多晶或金属线（表面）吸附电荷，电荷流向栅或扩散区，用面天线比评估。

antenna

账户已登录 · 发表于 2019-4-23 17:55:37

模拟版图小白发表于 2017-10-28 23:27
另外，按照楼上的解释，向下跳线岂不是一点作用都没有咯？并且还额外的引入了via的寄生电阻。是吗？ ...

当然不会一点用没有了，分情况的假如一条接到gate的走线200um（M1 50um，M2 150um），
假设用最小线宽的普通走线长度超过120um积累的电荷就有击穿栅氧的风险，那么将150um中的至少30um换成M1即可解决M2上抓出的ANT问题，当然要同时保证直接接到gate的M1连续走线长度不要超过报错上限120um