28nm后端DRC问题，在Via上面有很多edge length引起的min area问题

Horizon00

如题，基于28 nm工艺，我在ICC里面PR之后，检查布线DRC不存在违反，到Calibre里面检查有很多这种edge length引起的min area的问题，数目非常多，应该是无法手工修复的。

我现在想用ICV来解决这种问题，发现也是水平有限，能修复的很少，请问一下，这种问题在后端中该如何解决呢？谢谢各位大牛了

DRC如下：
Layer: M1 (61)        Type: M1_17c : M1 area when all of M1 edge length < 0.13um. DRC doesn't check when 0.05um * 0.13um rectangular M1 pattern, and doesn't check INST and RFSRAM region. >= 0.04 um2
分析之后，发现基本上都是在M1引出Pin的地方插入的Via和Pin形状拼在一起之后就形成了多边形，由于Via的M1尺寸小于0.13，所以引起了MinArea这个规则的检查。


此外在M2 M3 M4 M5等上面都有这些类似的问题


如上图所示，一层Via上面是另一层Via，因为一个是横着放的，所以另一个是竖着放置的，他们交叉之后又会引出上面同样的问题，哎，这个问题该如何解决呢？

请各位后端大牛帮帮忙，谢谢了

xiaoyisimonguo

回复 1# Horizon00


   interesting, I thought the rule already defined the minimum area rule, why it still generate the violations

shinefuture

设置打via只能打在M1里

tcwyfrex

smic的比较恶心，只要有十字交叉的形状都会有最小面积的问题，更新一下RULE说不定就没了。他都说了不检查某种特定的形状，也许是语法bug导致的ignore失效。已经一年多没做了不知道现在什么情况了，去年用的内部最新RULE就不会报出来了。

Horizon00

回复 2# xiaoyisimonguo


   您好，非常感谢您的回复，请问一下，在ICC里面如何设置只在M1里面打Via呢？谢谢您了

Horizon00

回复 4# tcwyfrex


   哦哦，好的，非常感谢您的回复，那我问一下他们内部，看能否获得最新的DRC文件吧，谢谢您了

raga21

Thanks...