smic流片layer mask求助

8i8i9o9o

我们公司到smic流片工艺是smic0.18um 1p6m 1.8v/3.3v

我们画layout的时候用了23层layer mask。
但是smic说用了29层。
多出来的6层是 AR PW PLL NLL PLH NLH
谁能解释一下？ 这6层是什么东西？
谢谢
我们用了DEEP NWELL layer mask

xxmule

看看design rule文档有没有写这些是来干嘛的

回复 1# 8i8i9o9o

8i8i9o9o

AR is        'AA oxide define reverse'
PLL is       'PMOS LDD IMPLANT for LOW VDD'
NLL is      'NMOS LDD IMPLANT for LOW VDD'
PLH is       'PMOS LDD IMPLANT for HIGH VDD'
NLH is       'NMOS LDD IMPLANT for HIGH VDD'
PW    is         'p well'

这些是实实在在的layer mask吗？

回复 2# xxmule

zgf85644958

看看mask layer里面怎么写的

8i8i9o9o

就像上面这样写的

回复 4# zgf85644958

tuohong

这些mask的用途就是上面你写的，这些mask你没有画layer，是因为他是用你画的其他layer做逻辑运算得到的。一般来讲，layer，mask，photo三者有很强的关联但是不一定相同。

8i8i9o9o

那full mask流片的时候是否需要制作这6层mask layer？
smic是按mask layer 层来收钱的。
我想搞清楚一点
谢谢

回复 6# tuohong

maomao198477

看看 文档，fab专门有人写这些 就是给我们菜鸟看的

Rucas

Mask有些是通过逻辑运算生成的，不需要版图的时候存在，

你看看Mask Layer文档中有标注

xxmule

呵呵，你说对了，fab就是通过这些巧妙的把钱给挣了


回复 7# 8i8i9o9o