工艺制作中掩膜版问题

sunny_yangfeng · 发表于 2015-9-21 15:31:40

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在版图中画了15层mask版，而在制作的时候为什么会只需要制作14层mask版，请问这是什么原因？从工艺文件中哪里可以看得出哪些mask版需要制作出来的？望回复

icfbicfb · 发表于 2015-9-21 16:05:11

mask和 layout 的layer有一定差别，和foundry，process都有关系，等你几年后有经验了才能慢慢理解，

做layout的人通常不用管mask的构成， fab说了算就行了

sunny_yangfeng · 发表于 2015-9-22 10:19:07

回复 2# icfbicfb

是的，layout中同样的层次使用不同的foundry以及process是会不同，所以为了节省流片费用，肯定要选择制作mask层最少的方案，那怎么才能评估出layout中所画的layer对应的不同工艺会需要制作多少层mask版呢？

icfbicfb · 发表于 2015-9-22 10:46:16

你什么工艺什么库，说实在的省不了太多，顶多几层的样子

要具体看的

sunny_yangfeng · 发表于 2015-9-22 10:50:52

回复 4# icfbicfb

旺宏的工艺以及华润上华的工艺，我想要知道如何来评估不同工艺的mask版层数

icfbicfb · 发表于 2015-9-22 11:00:56

看design rule啊，里面会讲的

模拟部分有mim，dnw，hrp等选择，是可以省一些mask的

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