UMC 153nm shrink process

冰点火龙 · 发表于 2014-12-5 23:23:02

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各位大神，UMC 153nm shrink process有做过么？初次接触可以shrink的工艺，而且是改版UMC BCD 180nm工艺的版图，应该需要注意什么？

冰点火龙 · 发表于 2014-12-6 00:12:59

回复 1# 冰点火龙

这里是180nm shrink 85%后得到153nm的。

icfbicfb · 发表于 2014-12-7 10:07:45

没啥注意的吧，按照0.18画，fab生产的时候自己shrink的，

看看文档吧

冰点火龙 · 发表于 2014-12-10 23:33:25

回复 3# icfbicfb

我看文档，说是Analog部分不建议shrink，需要先放大118%，这样的话是不是整个Chip都要放大118%，只有需要shrink的部分（比如PR部分）不放大吧？

icfbicfb · 发表于 2014-12-11 10:19:33

对，analog部分sizeup 118% ，数字部分不动，

icfbicfb · 发表于 2014-12-11 10:19:55

其实也无所谓， 90% shrink对analog部分有多大影响呢，不大的，

冰点火龙 · 发表于 2014-12-11 23:12:40

回复 6# icfbicfb

由于是修改版图，很多线都是边贴边画的，放大后很多贴边的线会断开，lvs过不了，这种问题应该怎样解决？
还有就是放大后Contact、Via都会变大，还有一些Layer（比如NPLUS）会出现误差，这样DRC也过不了啊。

icfbicfb · 发表于 2014-12-12 10:44:16

直接看看doc吧，不同fab shrink rule/flow
还确实有差别，

冰点火龙 · 发表于 2014-12-12 23:14:55

回复 8# icfbicfb

谢谢你！

蓝一 · 发表于 2015-11-14 09:53:35

回复 1# 冰点火龙

好问题，点赞

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