中科院微系统所MEMS压力传感器，流量传感器

hellolxj · 发表于 2014-11-14 15:40:24

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上海微技术工业研究院拥有领先的MEMS传感器设计、工艺、测试、封装和应用开发专家，以及ASIC设计和电路设计方面的专业团队，拥有包括4英寸MEMS研发线、8英寸“超越摩尔”研发线和8英寸CMOS量产线在内的全方位产学研平台，同时依托于上海微系统与信息技术研究所的长期MEMS研发实践，在MEMS设计、仿真、微纳兼容制造技术、先进封装工艺，以及系统集成方面都有很强的技术能力，对开发集成化、智能化、网络化传感器系统有丰富的经验，在汽车电子等方面取得了成功的应用。

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汽车电子MEMS传感器

该产学研平台在单硅片单面体硅微机械加工技术方面有独到的技术，通过对（111）单晶硅片的晶向和晶面分布的特殊性研究，结合单晶硅各项异性湿法腐蚀特性，首次阐明了单硅片单面单晶硅薄膜的成型机理，在单晶硅表面按一定规则设计一系列微型释放窗口，通过释放窗口可以实现在单晶硅衬底内部选择性横向刻蚀，进而实现单晶硅不同尺寸和厚度的薄膜释放，见下图。在此技术基础上，成功研制出一款单硅片单面加工的压阻式压力传感器。

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不同尺寸单晶硅单面释放工艺压力传感器结构示意图

针对不断增长的消费市场需求，工研院协同中科院上海微系统所，和合作伙伴协同创新，针对市场潜力大的传感器产品进行开发，整合工艺流程和供应链资源，以实现高性价比传感器产品的大规模生产，替代进口产品，并推动MEMS新应用市场的形成。

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流量传感器仿真流量传感器芯片和器件新

xlteam2 · 发表于 2022-3-22 07:05:30

very good

水仙君 · 发表于 2022-1-30 07:06:15

学习了

xutao8 · 发表于 2022-1-12 18:00:34

学习一下

xlteam2 · 发表于 2021-10-17 14:24:04

good news

xlteam2 · 发表于 2021-9-5 11:02:14

pretty good

xlteam2 · 发表于 2021-7-28 23:17:43

i like it

tigerguo66 · 发表于 2021-3-22 18:42:04

学习学习，长长见识

frogsondjj · 发表于 2020-10-29 19:55:19

试验室老师要我选用苏州长显的薄膜压力传感器说他们家的薄膜压力传感器重复性最好我们实验室用过其它家的薄膜压力传感器都不能用有谁知道这种传感器的测试电路原理吗谢谢

gelayol5 · 发表于 2018-6-26 23:34:21

thankyou

[原创] 中科院微系统所MEMS压力传感器，流量传感器

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