关于金属电流密度的一些问题？

jyfzrzhl1988 · 发表于 2014-10-28 15:34:57

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小弟最近对于金属电流密度有些问题啊？请看下表。

我有个问题：
1、这张表只给出了直流情况下金属电流密度，但是却没有给出脉冲情况电流密度。那脉冲电流密度应该如何计算啊？
比如：直流电流密度为1mA/um，对于脉冲电流（频率为10K，脉宽为100ns）电流密度为多大啊？是按照功率相等来换算么？
2、金属电流密度仅跟其厚度有关么？
3、如果设计的某金属层的某段电流超过了额定的金属电流密度会怎么样啊？

feynmancgz · 发表于 2014-10-28 17:12:11

回复 1# jyfzrzhl1988

工艺库应该还会给一个参数，joule heating current limit或者 RMS current limit 我一般是这样处理的，电流的average值要小于你这个表里给的值，然后还要算RMS值，也要小于对应的rms的limit

孙园杰 · 发表于 2014-10-28 19:36:59

前几天刚看过。
1，
不同的电流波形算Id (max DC current)不一样的。
随时间变化的DC Current：就算平均电流。
单方向的脉冲DC Current：
如果Freq <=10KHz, Id=Ipeak * sqr(d), d是duty cycle
如果Freq > 10k Hz， Id=Ipeak * d, d是duty cycle
以上是平均电流的要求。
峰值电流一般也要小于20mA/um,对于底层金属。
2，厚度，温度，process都有关。而且还跟要达到的可靠性有关。比如在最大的结温下工作十年，电迁移failure rate <= 0.1%就是个常见的要求，要求不一样Id max肯定也不同。
3，就是电迁移导致金属连接断路或者临近的线短路。