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[求助] 请教各位大神，什么是Deep Trench Isolation啊？？？

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发表于 2013-9-11 14:07:57 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请教各位大神，什么是Deep Trench Isolation啊？？？
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jup010101
发表于 2013-9-11 16:49:05 | 显示全部楼层
是不是相对于STI深的隔离技术呢
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 楼主| 发表于 2013-9-11 17:04:34 | 显示全部楼层
是吧！？求解释阿！！！！
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fuyibin
发表于 2013-9-11 18:23:15 | 显示全部楼层


请教各位大神，什么是Deep Trench Isolation啊？？？
我爱喝豆腐脑 发表于 2013-9-11 14:07

                               
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Deep Trench Isolation顾名思义就是深槽隔离
与之对应的有 shallow trench isolation,也就是我们通常说的STI/浅槽隔离
在一般标准工艺中，大家都用STI，在一些高压工艺里面也许会用到DTI
用DTI的主要目的是增加场区开启电压
举个简单的例子，一般的标准工艺中，电源电压也就是5V/3.3V/2.5V/1.8V/1.0V，而场区开启电压一般会在10V以上
所以不会产生场区开启导致芯片不能正常工作
但是高压工艺就不同，有些高压的走线会在场区的衬底上感应出反型层，所以需要增加走线到衬底的距离，DTI就可以很好地拒绝场区开启的问题
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zjwumei
发表于 2013-9-14 11:38:28 | 显示全部楼层
深槽隔离
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皮皮鲁_lps
发表于 2013-10-15 11:34:25 | 显示全部楼层
深槽隔离，相对应的有浅槽隔离
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萧萧下
发表于 2020-12-26 16:13:49 | 显示全部楼层
很清晰的解释，谢啦
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xiaolongg
发表于 2021-1-14 13:42:22 | 显示全部楼层
学习学习
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jeffej
发表于 2021-1-14 17:06:08 | 显示全部楼层
need DTI at high voltage BCD process
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tuohong
发表于 2021-1-14 17:50:40 | 显示全部楼层
感觉“所以需要增加走线到衬底的距离”那句跟DTI没啥直接关系。
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