求助IC制造的参考书

louis506660842 · 发表于 2012-12-12 09:30:04

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请问各位前辈，我研究生学的是IC制造，有那些比较好的教材和资料？国内国外的都行另外，请问搞工艺的话从事哪个工序比较有发展前景？比较可能在技术上取得突破？最好给出理由。望赐教，谢谢。

mickey1999 · 发表于 2012-12-12 11:19:03

Silicon Processing for the VLSI ERA. Stanley Wolf From Volume1 to 4.

mickey1999 · 发表于 2012-12-12 11:25:59

Volume1 descript basic module process from silicon grow, wafer process and assembly process.
Volume2 content is process integration.
Volume3 content is sub-micro process integration
Volume4 content is deep sub-micro process integration.

iamshan · 发表于 2012-12-12 13:01:13

楼上说的对半导体制造的圣经

wuxia9059 · 发表于 2012-12-12 14:07:17

新手可以先看“Microchip Manufacturing" 和 “Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice, and Modeling ”

louis506660842 · 发表于 2012-12-12 21:52:23

回复 5# wuxia9059
多谢回复

louis506660842 · 发表于 2012-12-12 22:03:13

回复 3# mickey1999

大神，小弟受益匪浅！

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