0.35 rule 中 OPC CONTACT

calear · 发表于 2012-5-15 10:04:30

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如题 opc contact 是什么意思？

zh1898 · 发表于 2012-5-15 10:53:39

记得在做JDV时，有些cont/via附近会多出一些工整的dummy cont/via pattern,不知这些pattern是否是你所说的opc contact。曾经就此询问过mask house,回复说这些dummy pattern只是为了增加mask density（我推测和OPC有关），做process时会被删除，供参考。

icfbicfb · 发表于 2012-5-16 07:16:22

就是做完OPC的ct啊，和opc metal一样，工艺的步骤而已，

calear · 发表于 2012-5-16 10:37:52

回复 3# icfbicfb

谢谢，就是不知道什么是OPC.呵呵

zh1898 · 发表于 2012-5-16 13:06:09

OPC(optical proximity correction)：光学邻近效应修正，是一种光罩修正技术。
常见的方法是将line-end pattern修成Hammer-head pattern，具体可从网上找相关资料了解一下

ricvadim · 发表于 2020-3-13 00:29:58

话题很好非常感谢

[求助] 0.35 rule 中 OPC CONTACT

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