关于TSMC工艺中图层

lyz543212 · 发表于 2012-1-7 21:27:27

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本帖最后由 lyz543212 于 2012-1-7 21:33 编辑

在画版图的时候，有些图层的作用不是很清楚，请问哪里可以查询到各个图层的作用？
比如说RPDUMMY图层什么意思？新手~~勿怪~~
工艺自带的工艺文件，我也查过了
只有一句话
DUMMY for POLY/OD resistor device
意思貌似在电阻上覆盖一层DUMMY？
这个DUMMY什么用？
求教~~
请问，有详细点的说明文档吗？

leefuture50 · 发表于 2012-1-8 13:53:54

这个DUMMY是用来在最后验证DRCLVS的时候把这个区域识别为电阻用的

lyz543212 · 发表于 2012-1-8 18:30:37

回复 2# leefuture50

哦要是没有这个DUMMY，这个区域会被识别成什么呢？

icfbicfb · 发表于 2012-1-8 21:22:24

就是PO/OD 电阻识别层， runset就知道了这个是电阻而不是gate，或者一般的od，

做lvs用的，

类似的还有RWDUMMY ： nwell resistor 识别层
RMDUMMY ： metal resitor 识别层

lyz543212 · 发表于 2012-1-8 23:15:34

本帖最后由 lyz543212 于 2012-1-8 23:21 编辑

回复 4# icfbicfb

如果讲这么个多晶硅放在有源区上，再在多晶硅上放上RPDUMMY，那么会是判成MOS管，还是电阻呢？

icfbicfb · 发表于 2012-1-8 23:57:41

不是这样理解的

RPDUMMY 只能要么盖住poly，要么盖住active，不可能既盖住active，又盖住poly，

tsmc在这点上没有分开，要用户看layout来识别是poly还是aa电阻，

smic比如是RESP1表示poly 电阻， RESAA表示active电阻，

cxl666 · 发表于 2012-1-9 19:12:28

器件识别看LVS规则就一清二楚了。

2hen · 发表于 2012-1-9 19:21:56

回复 5# lyz543212

如果这样的话，lvs会报错，告诉你这个器件是错误的，或者根本就找不到这个器件。

loopgain · 发表于 2012-1-10 18:34:35

工艺文件中没有说明的一般没有意义

DC-DC · 发表于 2012-1-11 11:15:58

应该就是识别层，做LVS用的。识别层越多，LVS文件应该越好编。

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